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    MSA-100-3D 顯微式測振儀
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    MSA-100-3D 顯微式測振儀

    MEMS系統的3D振動測量

    　　實物的振動通常是三維振動。雖然可選擇優先顯示某特定方向的振動，但由于存在產品公差和其它影響，在其它空間方向也存在運動分量。 MSA-100-3D顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內實時測量被測物體的動態特性，分辨率高，同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量，每向的振幅分辨率均達到亞皮米級。     

    典型應用  　

    　　·  慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀

    　　·  微機電傳感器和致動器 (MEMS) 

    　　·  打印機噴墨頭

    　　·  壓力傳感器薄膜

    　　·  耳機、微型鏡頭等


    需要報價

    　　· 實時振動測量，高達 25MHz 的大帶寬

    　　· 用于面外和面內振動測量，振幅分辨率達亞皮米級

    　　· 單點式和全場掃描式振動測量

    　　· 激光光斑小于 4μm，橫向分辨率極高

    　　· 測試距離大，可達38mm

    　　· 可與常見的MEMS商用探針測試臺兼容


    附件下載：無


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